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如何控制潔凈室內(nèi)微粒濃度

        無(wú)塵車間懸浮粒子濃度,如果使用高性能空氣供給系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)零水平,然而實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器和機(jī)械塵埃及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等,在制造品周邊揚(yáng)起了少許的塵埃粒子,因此導(dǎo)致了元件清潔面粒子的污染。


        如何控制無(wú)塵車間微粒子濃度?


    1. 不攜入人、機(jī)、料進(jìn)無(wú)塵車間,不攜入微粒子       

     (1)進(jìn)入無(wú)塵車間者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等,再通過(guò)風(fēng)淋室吹淋,高速干凈的氣流可除去附在衣服表面的粒子,吹淋完畢才能進(jìn)入無(wú)塵車間。

     (2)機(jī)器、材料進(jìn)無(wú)塵車間前,應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無(wú)塵車間前室保養(yǎng)后用水擦拭,經(jīng)貨淋室吹淋或風(fēng)淋傳遞窗吹淋后才能進(jìn)入無(wú)塵車間。

     (3)無(wú)塵車間中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有過(guò)濾器的排氣用小型風(fēng)扇于腰間。  

 

    2. 無(wú)塵車間內(nèi)動(dòng)態(tài)環(huán)境下機(jī)、料的控制

        在控制最大污染源--人在無(wú)塵車間內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí),也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí),所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵,而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到最小限度應(yīng)采取以下對(duì)策: 

    (1)減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作;

    (2)采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì);

    (3)采用發(fā)塵小的潤(rùn)滑油;

 

    3. 不儲(chǔ)備:

        現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及機(jī)臺(tái)的制動(dòng)(動(dòng)態(tài)),無(wú)塵車間要想達(dá)到動(dòng)態(tài)潔凈級(jí)別,因此“不儲(chǔ)備”技術(shù)快速地在過(guò)濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì)依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩(wěn)定的氣流會(huì)使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起,增加了重大微粒子污染的危險(xiǎn)性??刂茪饬骺煞乐刮⒘W永鄯e,但對(duì)于帶電表面的微粒累積就無(wú)法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在無(wú)塵車間內(nèi)會(huì)使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對(duì)于制造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料,并藉由除電裝置進(jìn)行除電。 


    4. 除去

        在無(wú)法避免大量微粒子產(chǎn)生的機(jī)器上,為了避免在無(wú)塵車間中產(chǎn)生微粒子,直接的外部排氣作用稱為局部排氣。廢氣排放的對(duì)策是:需要進(jìn)口等量的外部氣體,但同時(shí)也需要大量的能源消耗。所以這不是一個(gè)絕對(duì)理想的策略。因此,盡可能在壓縮空氣量中,不僅要對(duì)無(wú)塵車間外的廢氣進(jìn)行排塵,還要采取空氣退塵后對(duì)無(wú)塵車間的應(yīng)對(duì)措施。



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