潔凈室是控制污染的基礎。沒有潔凈室,就不可能批量生產敏感部件。在FED - STD - 2中,潔凈室定義為空氣過濾、分配、優(yōu)化、建筑材料和設備房,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,以達到適當的清潔度水平。
潔凈室是指將一定空間范圍內的空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內溫度、清潔度、室內壓力、氣流速度和空氣分布、噪聲、振動和照明、靜電控制在一定的范圍內而設計的房間。也就是說,無論外部空氣條件如何變化,其室內均能保持原有的潔凈度、溫度、濕度、壓力等性能要求。
潔凈室的主要功能是控制產品所接觸的空氣的潔凈度和溫濕度,可以使產品在良好空間環(huán)境生產和制造,這個空間我們稱之為潔凈室。根據國際慣例,無塵凈化水平主要依據粒徑大于每立方米空氣分級標準的顆粒物數量。也就是說,所謂的無塵不是百分之百沒有灰塵,而是控制在非常少的單位。當然符合標準中粉塵顆粒的標準相對于我們的普通粉塵來說是很小的,但是對于光學結構來說,即使是一點點的粉塵也會產生非常負面的影響,所以對于光學結構的生產來說,清潔是必然的要求。
直徑小于0.5微米的塵粒數控制在3500以下時達到國際無塵標準。
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